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檢測內容

化學式

檢測范圍

檢測誤差

最小示值

90%響應時間

磷化氫

PH3

0~20~1000ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤40秒

氧氣

O2

0.0~25.0%Vol

≤±0.5%

0.1%

≤20秒

可燃性氣體

Ex

0~100%LEL

≤±5%(F.S)

1%LEL

≤30秒

一氧化碳

CO

0~2000ppm

≤±5%(F.S)

1ppm

≤30秒

硫化氫

H2S

0~200ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤40秒

二氧化氮

NO2

0~200ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30秒

一氧化氮

NO

0~1000ppm

≤±5%(F.S)

1ppm

≤30秒

二氧化硫

SO2

0~200ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30秒

氯氣

CL2

0~200ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤90秒

氨氣

NH3

0~200ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤150秒

氫氣

H2

0~2000ppm

≤±5%(F.S)

1ppm

≤90秒

氫氰酸

HCN

0~200ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤200秒

臭氧

O3

0~1.0~5.0ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤120秒

氟氣

F2

0~1ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30秒

氟化氫

HF

0~10ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤60秒

氯化氫

HCL

0~30~20ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30秒

溴化氫

HBr

0~30ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30秒

環氧乙烷

C2H4O

0~100ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤90秒

光氣

COCL2

0~1ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤60秒

硅烷

SiH4

0~20ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30秒

鍺烷

GeH4

0~2ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤60秒

砷烷

AsH3

0~1ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30秒

二氧化氯

CLO2

0~1.0~200ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤120秒

四氫化氯

N2H4

0~1ppm

≤±5%(F.S)

0.1ppm

≤30秒

乙硼烷

B2H6

0~0.5ppm

≤±5%(F.S)

0.01ppm

≤60秒

氫氣

H2

0~1.0~4.0%

≤±5%(F.S)

0.01%

≤60秒

氨氣

NH3

0~1000ppm

≤±5%(F.S)

1ppm

≤30秒