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產品特性
· 兩元氣體混和裝置，利用多臺高精度(MFC)氣體質量流量控制器精密控制氣體混合比例，可以混出不同要求的氣體比
·氣體混和精度不受起源壓力變化的影響
·全耐腐蝕設計，適應氣體混合（常溫無凝結）
·調節精度優于+-1%，混和精度優于1%或2%（流量大小確定）
技術參數
氣體傳輸：1- 8種氣體氣體質量流量控制器控制流量 ， Swagelok卡套連接
氣體類型： 空氣、N2， O2 ，CO2,SO2等
進氣壓力：2 --8bar
出口氣體：1--8種氣體質量流量控制器控制
控制閥動作型式：氣體質量流量控制器是常閉式
響應時間(sec)：1S
工作壓差：0.05～0.5MPA
最大耐壓：3MPA
出口壓力：0 --6bar
控制原理：氣體質量流量控制器質量流量控制，每個出口單獨控制，含溫度及濕度休整補償（由于密度和溫度的關系很大，為 減少誤差補償）
氣體質量流量控制器流速：0～5，10，20，30，50，100，200，500SCCM；0～1, 2, 3, 5, 10, 15, 20, 30，200SLM
采用溫度變化對應于質量流量的原理，可以對不同的氣體進行流量量測及控制（氣體質量流量控制器）。
氣體質量流量控制器可應用在5SCCM到200SLM的氣體流量范圍，并且不會受到溫度及壓力變化的影響其他流速可選擇 ，其他氣體可選擇
準確性： 優于1%或2%（此參數是由混合氣體的流量后所確定）
數據：輸出的數據轉換為標準狀態下的質量（ 1個大氣壓，0度）
氣體質量流量控制器標準狀態規定為：
標準溫度………………0℃（273.15K）
標準壓強………………101325Pa控制顯示方式：本地顯示控制
氣體混氣儀器應滿足以下工作環境要求:
氣體質量流量控制器工作電源: AC 185~265V,50Hz.
氣體質量流量控制器工作溫度:0～45℃
氣體質量流量控制器相對濕度:≤90%
進出口連接：可以用1/4'或6mm的316l（聚四氟）與氣源進行快速連接，并與采樣灌進行快速連接
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